Nanotubes de carbone &
Lithographie


Les critères pour obtenir ces forêts de nanotubes de carbone sur une lithographie réalisé par Nicholas Blanchard, ingénieur de recherche à l’UCBL, sont : une température du four à 750°C sur l’échantillon et un rapport de débit de 20% d’acétylène par rapport au méthane, c'est-à-dire 40 cm3 min-1, avec toujours une pression à 3,5 Torr du mélange de gaz. Plasma mis en route (haute tension de 800 V pour un courant de 60 mA). Temps de synthèse : 7 min.

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